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R&D for Semiconductor

디엔에프는 급변하는 반도체용 화학소재 시장에 적절히 대응하기 위해 다수의 전문인력으로 구성된 연구조직을 운영하고 있으며, 반도체 제조사 및 장비회사와의 공동개발, 독자적 기술 보유 등을 통해 재료의 국산화, 수출증대, 국내외 반도체 산업 발달에 기여하기 위해 노력하고 있습니다.

반도체 재료개발 포트폴리오 (판매 및 개발완료, 개발중)

Wire Alpis-3 MABOC (Ep-Cu Seed용) CVD/ALD용 Cu Precursor
Electrode TiCl4 / TEMAT / TDMAT / Ru Precursor
High-k TEMAHf / TEMAZr Zr Precursor STO/BST/Zr Precursor
Low-k   Low-k (CVD)용 Precursor
Gap-Fill Polysilazane Flowable Oxide용 Precursor
Diffusion Barrier TiCl4 TDMATi / Ta Precursor Ru Precursor
Etch Hardmask SiN 1-Hexene/Propylene (ACL용) SOC용 Precursor
Low Temp. Silicon (DPT)   DIPAS ALD용 SiO2
New Memory Ge / Sb / Te / Fe / Co / Ni Precursor
Gate Metal (CVD용) Ni / Co / W Precursor ALD용 Metal
TSV ALD용 SiO2 / Ti Precursor / Ta Precursor / CVD용 Cu
  50nm 40nm 30nm 20nm 10nm~

* CVD : Chemical Vapor Deposition 화학기상증착 * ALD : Atomic Layer Deposition 원자층증착
* Ep : Electroplating 전기도금 * SOC : Spin on Carbon * ACL : Amorphous Carbon Layer 비정질 탄소 박막
* DPT : Double Patterning Technology * TSV : Through Silicon Via 실리콘 관통 전극

R&D for Display

스마트폰과 태블릿 PC 등의 수요 증가와 Flexible 패널 개발에 따라 디스플레이 소재에 대한 관심이 급증하고 있습니다. 디엔에프는 TFT 기판의 Gate Insulator와 공기 중의 산소 및 수분에 노출되는 것을 방지하기 위해 사용하는 봉지공정(Encapsulation)에 사용할 소재 개발을 진행중입니다.

R&D for Display

R&D for Nano Tech.

디엔에프는 반도체용 유무기화합물, 디스플레이 소재, 촉매 개발 등의 경험을 바탕으로 다양한 나노소재를 연구하고 있습니다. 지속적인 수요 증가가 예상되는 고기능성 코팅제 및 균일 나노 입자, 귀금속 복합촉매 등의 신규 아이템을 개발하고 있으며, 종합화학소재 전문기업으로 성장하기 위한 기반을 구축하고 있습니다.